一种卷对卷曝光装置.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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一种卷对卷曝光装置.pdf

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本实用新型公开了一种卷对卷曝光装置，包括卷收卷、拉料机构、曝光机构、张紧机构和卷放卷，卷收卷和卷放卷之间设置拉料机构、曝光机构和张紧机构，卷收卷和曝光机构之间设置拉料机构，曝光机构与卷放卷之间设置张紧机构，卷放卷中的卷料经张紧机构、曝光机构、拉料机构进入卷收卷中，并且卷料通过张紧机构张紧。通过采用张紧机构，能够使卷料始终处于张紧状态，进而避免在拉料机构停止动作后，卷料由于惯性而导致的翘起，使卷料可正常被曝光处理。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219435213 U (45)授权公告日 2023.07.28 (21)申请号 202222525228.5 (22)申请日 2022.09.23 (73)专利权人迪盛（武汉）微电子科技有限公司