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本发明提供一种组合式非接触晶圆边缘清洗装置，晶圆承载平台包括分布在边缘的多个空气动力组件；导流平台，固定在晶圆承载平台上；空气动力组件的上端出气口以第一预定方向喷出气流使晶圆悬浮于导流平台的上方；导流平台内部产生气流走道，气流走道的出气口面向晶圆的边缘部分，气流经气流走道向晶圆的边缘部分喷出，以稳定空气动力组件喷出的气流。将晶圆清洗时通用的晶圆承载平台与一导流平台组装形成晶圆边缘清洗用承载装置，对晶圆进行非接触式夹持，有利于进行晶圆边缘的清洗工艺，节省开发成本，提高经济效益，并有利于维持晶圆的品
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504709 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310333934.6
(22)申请日 2023.03.28
(71)申请人 江苏启微半导体设备有限公司
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