氧化锌基薄膜光电性能及其在紫外探测器中的应用研究的开题报告.docxVIP

氧化锌基薄膜光电性能及其在紫外探测器中的应用研究的开题报告 一、选题背景及意义 随着现代科技的不断发展，人们对光电器件的研究越来越深入，尤其是在紫外探测器领域。紫外探测器是一种将紫外光转换为电信号的光电转换器件，它广泛应用于环保监测、医疗、军事等领域，因此该领域的研究具有重要的意义。 氧化锌基薄膜是紫外探测器中常用的材料之一，它具有优良的光电性能，包括高感应度、快速响应和稳定的电性能等。因此，对氧化锌基薄膜的研究可以为紫外探测器的研制提供重要的支撑。 二、研究内容和目的 本文拟通过实验方法，研究氧化锌基薄膜的光电性能，以及其在紫外探测器中的应用情况，具体研究内容如下： 1.利用化学气相沉积技术制备氧化锌基薄膜。 2.对不同制备条件下的氧化锌基薄膜进行表征，包括薄膜的晶体结构、形貌、成分等。 3.对氧化锌基薄膜的光电性能进行测试，主要包括薄膜的光导率、光吸收系数、光敏功率等。 4.研究氧化锌基薄膜在紫外探测器中的应用情况。 通过以上研究，旨在了解氧化锌基薄膜的制备方法、特性和在紫外探测器中的应用情况，为紫外探测器技术的发展提供科学依据。 三、研究方法和步骤 1. 制备氧化锌基薄膜 利用化学气相沉积技术，采用不同的实验条件制备氧化锌基薄膜。 2. 表征氧化锌基薄膜 对不同实验条件下的氧化锌基薄膜进行表征，包括X射线衍射、扫描电子显微镜等。 3. 测试氧化锌基薄膜的光电性能 采用测试系统测试氧化锌基薄膜的光导率、光吸收系数、光敏功率等参数。 4. 应用研究 将氧化锌基薄膜应用于紫外探测器中，研究其性能。 四、预期成果 本文的预期成果如下： 1.成功制备出氧化锌基薄膜。 2.通过表征，研究氧化锌基薄膜的晶体结构、形貌、成分等特性。 3.测试氧化锌基薄膜的光电性能。 4.研究氧化锌基薄膜在紫外探测器中的应用情况。 五、进度计划 1.前期工作 综述氧化锌基薄膜的制备方法和性能，阅读相关文献资料，制定研究方案和方法。 2.制备氧化锌基薄膜并进行表征 2019年10月-2020年3月 3.测试氧化锌基薄膜的光电性能 2020年4月-2020年6月 4.研究氧化锌基薄膜在紫外探测器中的应用 2020年7月-2020年10月 5.论文撰写和修改 2020年11月-2021年1月