电阻式存储器装置及电阻式存储器装置的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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电阻式存储器装置及电阻式存储器装置的制造方法.pdf

提供了电阻式存储器装置及电阻式存储器装置的制造方法。该电阻式存储器装置包括:层叠结构,其中交替地层叠有多个层间绝缘层和多个导电层;孔,其在垂直方向上贯穿层叠结构;以及栅极绝缘层、沟道层和可变电阻层,其沿着多个导电层的与孔相邻的侧壁和多个层间绝缘层的与孔相邻的侧壁形成。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116507133 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211000694.X (22)申请日 2022.08.19 (30)优先权数据 10-2022-0009498

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