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本实用新型涉及一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置。镀膜设备包括传动机构、放置在传动机构上的托盘、磁材放置在托盘上；降温装置包括位于托盘下方的水冷挡板，升降机构，软管；水冷挡板安装在升降机构的输出端，水冷挡板内设有冷却槽，冷却槽的出口处和入口处均安装有接头，软管与接头相连接，软管和冷却槽内通有冷媒。本装置采用接触式水冷挡板冷却方式，能快速带走热量，且大面积冷却使得磁材温度均匀下降，从而提高生产效率和产品质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209923425 U
(45)授权公告日
2020.01.10
(21)申请号 20192
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