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晶圆清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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晶圆清洗装置.pdf

    本实用新型提供一种晶圆清洗装置，所述晶圆清洗装置包括：承载机构、传动机构、驱动机构及第一清洗槽，所述承载机构上设有一固定点，所述传动机构与所述承载机构通过所述固定点相连；所述驱动机构通过所述传动机构带动所述承载机构相对所述第一清洗槽内摆动，所述承载机构在一定摆动幅度下带动晶圆摆动，可以使得晶圆上聚集的清洗药液反应生成物迅速与晶圆剥离，避免了清洗药液在晶圆表面生成隔膜，使得晶圆清洗更彻底，提高了晶圆清洗的效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947804 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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