基于Tamm等离激元的氮化物绿光器件.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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本实用新型涉及基于Tamm等离激元的氮化物绿光器件,该绿光器件利用Tamm等离激元来提高绿光器件的发光效率,在器件结构上通过在有源区下方采用分布布拉格反射镜(DBR),并在有源区的上面设置p型接触层,并通过控制p型接触层的厚度以及p型接触层与DBR间的距离,使p型接触层与DBR之间形成谐振腔并与产生的Tamm等离激元耦合,设置p型接触层位于Tamm等离激元谐振模式的波节处,有源层位于Tamm等离激元谐振模式的波腹处,从而提高了内量子效率,大幅减小p型接触层对光的吸收,以及提高绿光器件中有源层发射

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947852 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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