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一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台.pdf

    本实用新型提供一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，包括大理石基座，大理石基座上平行设置有Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨，Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨和X2向导轨，X1向导轨和X2向导轨上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，X向气浮导向装置上安装有载物台。本实用新型采用XY双向双驱气浮导轨，XY导向面均安装关节式气浮垫，可降低加工安装精度，从而实现大尺寸晶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209946633 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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