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- 2023-07-31 发布于四川
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本实用新型提供一种当在显影处理工序中发生了异常的情况下迅速地使显影处理的进展停止的显影处理装置。所述显影处理装置进行基板的显影，所述显影处理装置具有：载置部，其用于载置所述基板；以及一个以上的紧急用清洗液喷嘴，所述一个以上的紧急用清洗液喷嘴与通常的清洗喷嘴分开地进行设置，用于在所述显影处理装置发生异常时朝向所述载置部上的基板喷射清洗液。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209947802 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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