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一种1600片超大载片量石英舟.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种1600片超大载片量石英舟.pdf

    本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其为一种1600片超大载片量石英舟，针对现有大产能石英舟制造工艺中制造困难，以及成品率低带来的成本偏高的问题，现提出如下方案，其包括左侧板和右侧板，左侧板与右侧板相互远离的一侧均焊接有多个机械手提手，左侧板与右侧板相互靠近的一侧底部焊接有同一个底部加强杆，底部加强杆的外侧固定套设有多个中隔支撑板，中隔支撑板的一侧顶部焊接有上槽棒，且多个中隔支撑板的一侧底部焊接有同一个下槽棒。本实用新型设计合理，适用于机械手上下料及自动化上片，使得在现有石英舟制作工艺水平下

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947811 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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