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一种底发射垂直腔面发射激光器结构.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种底发射垂直腔面发射激光器结构.pdf

    本实用新型提供一种底发射垂直腔面发射激光器结构，包括衬底基板，衬底基板表面顺序形成有高反射率的下DBR、有源区域、氧化限制层、高反射率的上DBR和欧姆接触的金属上电极层，衬底基板底面形成有向衬底基板表面延伸的出光孔，出光孔的底部与衬底基板表面的间距为d且0≤d

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209948330 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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