一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀.pdf

本实用新型公开了一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀,涉及半导体生产设备领域,包括膨胀阀主体,膨胀阀主体的底端中部固定连接有流出管,膨胀阀主体的一侧底端固定连接有流进管,流进管的中部固定连接有过滤装置,过滤装置的前侧中部和后侧中部对称设有旋柄,旋柄靠近过滤装置的一侧中部固定连接螺杆的一端,螺杆的另一端螺纹连接有螺母,螺母的底端固定连接有导向滑块,螺母的顶端固定连接有传动杆,传动杆的一侧顶端固定连接有卡接杆。本实用新型能够对流入阀内的液体进行过滤,避免了液体中的杂质引起电子膨胀阀的堵塞,保证了电子

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209943626 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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