1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

钝化装置以及外延设备.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.17万字
  • 约 11页
  • 2023-07-31 发布于四川
  • 举报

钝化装置以及外延设备.pdf

    本实用新型提供了一种钝化装置和外延设备，所述装置包括：钝化气体输送通道，与反应腔连通，用于向所述反应腔内提供钝化气体；离子束发射组件，延伸至所述反应腔的内部，用于向所述反应腔内提供离子束，所述离子束用于离子化位于反应腔内壁的杂质，以使离子化后的杂质与所述钝化气体发生钝化反应。本实用新型提供的钝化装置可以抑制自掺杂效应。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947805 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >