原创力文档- 0
- 0
- 约1.27万字
- 约 11页
- 2023-07-31 发布于四川
- 举报
本实用新型提供一种原位气氛热电两场测试用样品台及芯片电极自密封结构，采用的技术方案是：一种原位气氛热电两场测试用样品台，基于光学显微镜，包括集成电路测试台和安装有原位芯片的芯片安装台组件，关键在于，所述集成电路测试台中包括底座、安装在底座上的探针密封组件及电路板，探针限位于包括上密封板、探针导向板和下密封板的探针密封组件的连通孔中，探针导向板上开设通孔并限位有压簧，电路板下压时借助压簧形成下密封板与原位芯片之间、探针与电极之间的自密封结构。有益效果是：结构简单，易于加工，制造成本低，降低了实验成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209946318 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
文档评论（0）