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一种垂直腔面发射激光器及其密集型阵列结构.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种垂直腔面发射激光器及其密集型阵列结构.pdf

    一种垂直腔面发射激光器及其密集型阵列结构，包括隔离层：其包括圆形部分和从圆形部分的圆周向外延伸的一个或多个延伸部分；P‑型金属层：其包括一个或多个分离的不规则形状部分，不规则形状部分由近似矩形的外侧部分和近似梯形的内侧部分组成，隔离层的延伸部分完全或部分覆盖P‑型金属层；一个或多个电介质通孔开口：其分别位于P‑型金属层的一个或多个不规则形状部分之上；多个氧化槽：多个氧化槽沿隔离层的圆形部分的圆周外间隔排布且于隔离层的延伸部分两侧，相邻两延伸部分之间分布有至少一个氧化槽。本实用新型在缩小VCSEL

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209948329 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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