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本实用新型提供了一种直写式曝光机，其包括底座、置于所述底座上平行排列的第一龙门机构、第二龙门机构、步进轴运动组件、置于所述步进轴运动组件上的基板平台组件、置于第一龙门机构的对位机构、置于第二龙门机构曝光机构，所述第一龙门机构和第二龙门机构将所述底座分为上板区、对位区、曝光区和下板区，所述上板区位于所述第一龙门机构前，所述对位区位于所述第一龙门机构下方，所述曝光区位于所述第二龙门机构下方，所述下板区与所述曝光区重合或部分重合或位于所述第二龙门机构后方，所述步进轴运动组件带动所述基板平台组件依次穿过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209962089 U
(45)授权公告日
2020.01.17
(21)申请号 20192
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