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一种多晶锭拼接装置.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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一种多晶锭拼接装置.pdf

    本申请公开了一种多晶锭拼接装置，包括底座、第一限位柱、第二限位柱、第三限位柱、压盘、压杆及压杆支撑架；第一限位柱、第二限位柱以及第三限位柱设置在底座上，并围绕形成限位空间，限位空间用于放置晶锭；压杆支撑架固定在底座上，压杆活动设置在压杆支撑架上，压盘与压杆柔性连接，沿水平方向移动压杆可调整压盘的水平位置使压盘处于晶锭正上方中心，沿竖直方向移动压杆可使压盘对限位空间内的晶锭施加下压力。通过不同位置的限位块对不同尺寸的晶锭进行限位，配合压盘对晶锭进行施加压力，以实现多个晶锭之间的拼接，此拼接方式使多

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219445646 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202320538760.2 (22)申请日 2023.03.16 (73)专利权人 杭州乾晶半导体有限公司 地址

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