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本实用新型公开了一种真空电控比例阀,由一阀座结合导引座所构成,该导引座上方连接有真空压电磁阀、大气压电磁阀及传感器,该导引座与阀座之间夹设有一主膜片而形成一真空压力腔,该主膜片中央嵌设有配设一真空阀门组的一先导排气直杆,且该阀座与该导引座之间设有供一次侧压力与二次侧压力流通的一主通道,该主通道另还设有引导通道及回授通道,而该真空压力腔上方另配设有以该真空压电磁阀与大气压电磁阀控制开关的一调整通道,而另有供大气压流通的一先导大气通道设于该阀座内连通至该主膜片下方空间,而该先导排气直杆位于该阀座上方
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209977364 U
(45)授权公告日
2020.01.21
(21)申请号 20192
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