纳米材料与纳米技术 课件 第7章 先进纳米加工技术.pptx

先进纳米加工技术第七章纳米材料与纳米技术Nanomaterials and Nanotechnology微纳加工技术作为推动当今科技发展的重要技术之一，是实现功能结构与器件微纳米化的基础。 纳米减材制造技术1.1 光学曝光技术1.2 短波长曝光技术1.3 激光加工技术1.4 纳米压印技术1.5 刻蚀技术1.6 聚焦离子束加工技术纳米增材制造技术2.1 薄膜沉积技术2.2 薄膜剥离技术2.3 喷墨打印技术2.4 3D打印技术 第一节 ?纳米减材制造技术横线长度太长？? 选中后Shift + 鼠标左键水平拖拉端部圆点 1.光学曝光技术——背景 Page 4光刻具有大面积、重复性好、易操作以及低成本的特点！是半导体器件与大规模集成电路芯片制造的核心步骤！！是纳米材料、器件和电路实验研究过程中的关键技术！！！芯片制造晶体管越小，速度越快，功能增加，成本降低，功耗降低2004年90nm2015年14nm2019年7nm2020年5nm2022年3nm2023年2nm预生产中芯国际台积电全力追赶并超越 光学曝光系统的基本组成 Page 5光源系统：包括曝光光源、透镜、反射镜等，用于将掩模上的图形投影到硅片上。(在高重复频率下保持窄带宽和稳定性，并尽可能压缩带宽。)掩模版固定系统：包括平台、运动控制系统、自动对位系统等，用于控制硅片的位置和运动轨迹。控制系统：包括计算机、控制软件等，用于控制