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挡板、防溅装置、化学机械研磨机台及研磨废液防溅方法.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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挡板、防溅装置、化学机械研磨机台及研磨废液防溅方法.pdf

    本发明公开了一种挡板、防溅装置、化学机械研磨机台及研磨废液防溅方法。所述防溅装置包括：挡板、清洗立柱、驱动组件；所述挡板环绕设置于研磨台的外周；所述挡板在驱动组件的驱动下可进行独立升降；所述清洗立柱设置于挡板外侧，所述清洗立柱的清洗喷管可旋转至挡板内侧并对挡板进行喷液清洗。本发明技术方案通过设置分体的研磨废液防溅挡板，可以根据工艺过程中研磨垫整理器的工作状态，调整挡板的升降进而最大化的阻挡废液的飞溅。在挡板表面设置亲水区和疏水区，利用液滴在不同表面的表面张力差异，实现液滴在亲水区附着以防飞溅、在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116512115 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202210063856.8 (22)申请日 2022.01.20 (71)申请人 格科半导体（上海）有限公司 地址

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