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一种气体控制柜、废气处理线.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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一种气体控制柜、废气处理线.pdf

    本申请提供一种气体控制柜，包括壳体、送气管道、调压阀和流量阀。壳体设置有隔板，隔板的第一侧与第二侧为隔板的相对的两侧。送气管道位于隔板的第一侧，送气管道的入口端与出口端位于壳体外，送气管道的中间段位于壳体内。调压阀包括调压阀主体和控制调压阀主体中通过气体压力的调压驱动件，流量阀包括流量阀主体和控制流量阀主体中通过气体流量的流量驱动件，调压阀主体和流量阀主体均设置于中间段且位于壳体内，调压驱动件和流量驱动件位于隔板的第二侧。上述技术方案提供的气体控制柜，能够将从送气管道的入口端输入的气体按照预设压

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219453674 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202320541552.8 (22)申请日 2023.03.17 (73)专利权人 鸿舸半导体设备 （上海）有限公司

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