一种半导体进料机构.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种半导体进料机构.pdf

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本发明提供了一种半导体进料机构，包括设置在机座上的料管夹取单元、进料轨道单元和芯片取料单元，且进料轨道单元呈倾斜布置，所述进料轨道单元上依次设置有减速单元和分离单元，所述料管夹取单元包括连接座、料管夹持气缸和夹持爪，所述连接座通过一能使其上下运动的驱动件设置在机座上，所述连接座上通过一驱动结构一连接有能来回摆动的夹取台，所述夹取台上安装有带芯片导入通道的导入轨道，所述导入轨道上安装有支架，所述料管夹持气缸安装在支架上，所述夹持爪安装在料管夹持气缸的活塞杆上，且夹持爪能将料管定位在夹取台上，所述导

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116513790 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310413558.1 (22)申请日 2023.04.14 (71)申请人浙江庆鑫科技有限公司地址 31