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本实用新型公开了一种蒸发装置，包括蒸发舟和至少一个送丝机构，每个送丝机构包括至少两个送丝盘和至少一组送丝组件，每个送丝盘均用于放卷镀材，送丝组件设置于蒸发舟的一侧，送丝组件能够配合至少两个送丝盘往蒸发舟内部输送镀材。通过采用上述的结构，使得送丝机构在单位时间内能够往蒸发舟内部输送更多的镀材，进而增大了蒸发装置的蒸发量，满足真空镀膜的需求。本实用新型还公开了真空镀膜装置，包括蒸发槽及至少一个上述实施例的蒸发装置，全部蒸发装置的蒸发舟均位于蒸发槽内。通过采用上述的蒸发装置，使得真空镀膜装置进行真空镀
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219449843 U
(45)授权公告日 2023.08.01
(21)申请号 202320229724.8
(22)申请日 2023.02.08
(73)专利权人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份
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