一种氧化铝抛光液及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

24
0
约8.88千字
约 8页
2023-08-02 发布于四川
举报
版权申诉

一种氧化铝抛光液及其制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及抛光技术领域，具体涉及一种氧化铝抛光液及其制备方法。本发明公开了一种氧化铝抛光液及其制备方法，氧化铝抛光液包括氧化铝、氧化剂和添加剂；所述添加剂采用改性剂和分散剂复配；所述改性剂和分散剂的质量配比为(0.8‑1):(1‑0.75)；所述改性剂采用聚乙烯吡咯烷酮；所述分散剂包括十二烷基苯磺酸钠、十二烷基磺酸钠、十二烷基硫酸钠、聚乙二醇、聚丙烯酸及聚丙烯酸盐中的至少一种。本发明通过改性剂和分散剂复配，对氧化铝有很强的分散、悬浮能力，使得本发明的抛光液有很好的抛光效率及表面质量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116515401 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310154143.7 (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人成都超纯应用材料有限责任公司地址