1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种抽真空管道清理机构.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.24万字
  • 约 15页
  • 2023-08-02 发布于四川
  • 举报

一种抽真空管道清理机构.pdf

    本实用新型公开了一种抽真空管道清理机构，其包括至少两根抽真空管道、集尘管道和集气管道，每根抽真空管道的第一端与晶体生产室连通，每根抽真空管道内设置有能沿第一方向移动的第一清理组件，第一清理组件被配置为去除抽真空管道内壁上的沉积物，集尘管道分别与两根抽真空管道和集气管道连通，集尘管道内设置有两组第二清理组件，每组第二清理组件的第一端被配置为承接一个第一清理组件收集的沉积物，每组第二清理组件的第二端均位于集气通道管口的上方，两组第二清理组件的轴线共线且旋转方向相反，抽真空管道内未进入集尘管道内的沉积

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219442774 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202223423606.5 (22)申请日 2022.12.19 (73)专利权人 无锡松瓷机电有限公司 地址 2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >