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2023-08-02 发布于四川
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气体传输装置.pdf

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该实用新型涉及一种气体传输装置，包括：止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。上述气体传输装置通过设置在所述气体传输装置底部的止逆阀板来防止外界环境中的颗粒进入到所述气体传输装置内部，可以降低所述气体传输装置内部的晶圆被颗粒沾染的可能性，减少晶圆表面出现颗粒杂质，防止晶圆发生颗粒缺陷，提高晶圆的加工良率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209981173 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192