一种光学元件表面缺陷检测方法及相关设备.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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一种光学元件表面缺陷检测方法及相关设备.pdf

本申请实施例公开了一种光学元件表面缺陷检测方法及相关设备,能够有效的去除光学元件表面的纹理特征,将光学元件表面的缺陷进行分离,准确的获知光学元件存在的缺陷,具有方向识别性好,分离准确,完整的提取缺陷特征的优点,在精密光学检测和表面计量中具有重要应用价值。本申请包括:采用NSST对精密光学元件的表面数据进行分解,以分解得到若干个尺度不同方向不同的标准子块;使用L0梯度最小化消除除最高尺度子块外所有标准子块的纹理数值,以获取若干个只含有不同尺度和方向缺陷的目标子块,所述最高尺度子块为表示光学元件表面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116519695 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202211555967.7 (22)申请日 2022.12.06 (71)申请人 贵州民族大学 地址 550025

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