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超级结器件及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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超级结器件及其制造方法.pdf

    本发明提供了一种超级结器件及其制造方法，所述超级结器件包括衬底及设置于衬底上的第一导电类型外延层，所述第一导电类型外延层内设置有沟槽栅结构，沟槽栅结构周围的第一导电类型外延层内设置有体区；所述第一导电类型外延层内设置有多个贯穿体区的超级结沟槽，所述超级结沟槽内设置有第二导电类型外延层，以构成所述超级结器件的超级结；所述超级结沟槽的侧壁顶部设置有隔离侧墙，用于隔离所述第二导电类型外延层和所述体区。本发明通过在超级结沟槽的侧壁顶部设置隔离侧墙，实现了第二导电类型外延层和体区之间的电学隔离，简化了超级

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525436 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310471136.X (22)申请日 2023.04.27 (71)申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 地

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