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本实用新型涉及扫描电镜技术领域,尤其涉及一种高分辨率扫描电镜固定装置,本实用新型的创新点是:更加样品外形自动固定,避免样品在扫描时移动,提高扫描范围,实用新型通过主箱体上端面设有开口向上的移动槽,可以使支撑块进行移动,进而可以使样品在扫描时移动,进而提高可扫描样品的范围,同时提高扫描效率,本实用新型在支撑块上端面均匀分布有开口向上且贯穿滑槽的平移腔,可以根据样品的外形自动改变支撑杆的位置,进而使得样品固定得更加牢固,同时通过透明压板完全固定样品,避免样品滑动,进而提高扫描精度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219457527 U
(45)授权公告日 2023.08.01
(21)申请号 202223431267.5
(22)申请日 2022.12.21
(73)专利权人 南京利源芯科技发展有限公司
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