一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器.pdf

本实用新型公开了一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有卧式真空管、柱弧组件、进口阀以及出口阀；进口阀设置在卧式真空管的一端，与卧式真空管连接；出口阀设置在卧式真空管的另一端，与卧式真空管连接；进口阀、卧式真空管以及出口阀围合形成容工件进出或停留加工的空间；柱弧组件设置在卧式真空管中，且柱弧组件的一端与进口阀连接，柱弧组件的另一端与出口阀连接。相比于现有技术，该镀膜器具有布局合理，操作方便，具有良好的可拓展能力，单个镀膜器镀膜效果好等有益效果。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219449847 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202320424888.6 (22)申请日 2023.03.08 (73)专利权人森科五金（深圳）有限公司地址

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