SJ_T 11627-2016太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法.pdf

ICS 77.040H21SJ备案号：中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11627—2016太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法Online test methods for resistivity of silicon wafers for solar cell2016-09-01实施2016-04-05发布SJ发布中华人民共和国工业和信息化部 SJ/T11627—2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。本标准起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、中电投西安太阳能电力有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司。本标准主要起草人：孟丹、贺东江、王海方、薛抗美、徐自亮、黄黎、吕喜臣、高树良。 SJ/T116272016太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法1范围本标准规定了太阳能电池用硅片电阻率在线测试的方法。本标准适用于测试边长大于25mm、厚度为0.1mm～0.5mm的太阳能电池用硅片（简称硅片）的电阻率。测试范围为1.0×10^3α·cm～2×10°2·cm