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低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置.pdfVIP

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  • 2023-08-03 发布于四川
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低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置.pdf

    本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置，包括补气管，补气管端部开有补气口；还包括冷却管和堵头，冷却管设有供冷却介质通过的内孔，冷却管在补气管的出气口处节距盘绕呈多线圈状的导流弹簧段，处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间具有间隙，堵头设置在冷却管的导流段远离补气管一侧端部处。冷却管通入冷却气体，进而导流弹簧段的冷却管对补气管进行冷却，将补气管温度下降，镀膜反应气体的温度控制在反应温度以下，反应物不会沉积在补气管的管壁及补气口处；处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间设有间隙，镀膜反应气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209974885 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192

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