热丝CVD沉积金刚石膜试验.docx

热丝 CVD 沉积金刚石膜 试验：热丝 CVD 沉积金刚石膜一、原理： 在预抽真空的腔体中，碳氢化合物气体和氢气通过高温热丝裂解， 在基体上沉积金刚石薄膜。主要特点是： 1.热丝供给的高能量密度足够产生一些重要的活性基CH3、C2H2、原子H 等；2.使用的碳氢化合物种类并不格外重要，很多碳氢化合物均可作为碳源； 3.基体温度约～600-1000℃；4.依靠馈入气相中 C，H 或O 的比率不同，沉积出具有少量或没有非金刚石相碳的从纳米晶金刚石到单晶金刚石的沉积 物，与使用的气相碳源的种类无关。由热力学理论可知，低压沉积的 金刚石是在石墨的稳态区、金刚石的亚稳区生成。而在自然状态, 作为碳的一种