原创力文档- 2
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- 2023-08-04 发布于四川
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本实用新型涉及超大硅片线切装置，包括两个槽轮，金刚线和辅助轮，槽轮上设有线槽，金刚线嵌入所示线槽内，两个槽轮下方设有辅助轮，辅助轮相对于两个槽轮可上下移动设置，金刚线绕两个槽轮和辅助轮形成切割网，硅棒设置在金刚线上方，硅棒能够在料座的带动下穿过切割网。本实用新型的有益效果是：不改变槽轮距离能够切割超大硅片，能够在原有设备上使用，无需从新定制设备，适用范围广泛，辅助轮可以分散金刚线所施加的力，通过辅助轮位置改变金刚线线网张力，或抵消线网张力衰减，从而减少切割不良，也能够降低短线率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209987196 U
(45)授权公告日
2020.01.24
(21)申请号 20182
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