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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型提供了一种新型干蚀刻机下电极顶料销的密封结构，包括有安装在下电极下表面的套管，套管的中心处沿套管的轴向开设有与顶料销相匹配的中心孔，套管的底部开设有用于安装O型密封圈的凹陷槽，凹陷槽与中心孔相连通，凹陷槽内壁设置有螺纹段，螺纹段螺旋连接有紧固块，紧固块旋入后，紧固块的端部与O型密封圈接触从而将O型密封圈压紧，紧固块的中部设置有使顶料销穿过紧固块的通孔。紧固块将O型密封圈压紧，因此，O型密封圈不易发生扭曲变形甚至是断裂的问题，避免了在顶料销上下作动时将断裂的O型密封圈带到下电极表面，造成
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219476618 U
(45)授权公告日 2023.08.04
(21)申请号 202320285006.2
(22)申请日 2023.02.22
(73)专利权人 福建华佳彩有限公司
地址 35
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