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载具碎片清理装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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载具碎片清理装置.pdf

    本实用新型实施例涉及半导体和太阳能生产技术领域，提供一种载具碎片清理装置，包括载具导轨，所述载具导轨包括导向机构和支撑机构，所述导向机构呈螺旋状，所述支撑机构沿所述导向机构的螺旋方向安装在所述导向机构上，用以支撑载具滑动翻转。通过将支撑机构安装在螺旋状导向机构上，支撑机构形成螺旋轨道，载具放置在支撑机构上，并沿着螺旋轨道滑动翻转，载具翻转的过程碎片在自身重力的作用下掉落，实现将载具上的碎片清理干净的目的，装置结构简单，清理效果好，无环境污染。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209998034 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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