一种新型锗基片.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种新型锗基片,包括有方形锗基片,所述方形锗基片上表面、下表面与侧面之间分别设有倒棱边,所述方形锗基片四个角为倒角,有效地防止封装时相邻锗基片之间发生碰撞,同时方形锗基片外表均进行抛光,实现外表面的平面度优于633纳米、平行度优于2秒,提高方形锗基片与光学薄膜之间的附着力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209992700 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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