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防护件和镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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防护件和镀膜设备.pdf

    本实用新型公开了一种防护件和镀膜设备，该防护件包括基板，依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，内层、过渡层和防护层的表面粗糙度依次增大。本实用新型提供的防护件，通过在内层和防护层之间设置过渡层，可以提高防护层的表面粗糙度，使得防护件能够更多地承载溅射物质，减少溅射物质对真空腔室的污染。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001920 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20182

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