原创力文档- 11
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- 2023-08-05 发布于四川
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本申请公开了一种激光干涉仪的调整装置以及调整方法，通过设计激光干涉仪安装调整机构，组合手动调整和自动调整机构，为激光干涉仪的自动化调整提供硬件解决方案；通过组合的第一PSD位置传感器和第二PSD位置传感器检测激光光路，实现激光干涉仪与干涉镜之间的快速安装校准。通过对多点位置检测的结果进行最小二乘法拟合分析，求解出激光干涉仪出射光在空间中的最佳方向矢量，消除激光测量系统自身的系统误差，减少阿贝误差和余弦误差对激光测量系统的影响。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116538910 A
(43)申请公布日 2023.08.04
(21)申请号 202310369747.3
(22)申请日 2023.04.10
(71)申请人 成都飞机工业（集团）有限责任公司
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