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基板传送设备及半导体制程机台.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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基板传送设备及半导体制程机台.pdf

    本实用新型公开一种基板传送设备及半导体制程机台。基板传送设备包括传送装置以及定位装置。所述传送装置用以传送所述基板至所述定位装置进行定位。所述定位装置用以计算所述基板的待测位置。若所述待测位置与第一默认位置相同，则所述定位装置提供默认传送坐标至所述传送装置。若所述待测位置与所述第一默认位置不同，则所述定位装置提供修正传送坐标至所述传送装置。所述修正传送坐标包含所述预设传送坐标以及坐标修正值。所述第一默认位置为默认圆心坐标，所述待测位置为所述基板的圆心坐标检测值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209993581 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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