一种环形腔衰荡光谱装置的失调误差测量装置及测量方法.pdfVIP

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2023-08-05 发布于四川
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一种环形腔衰荡光谱装置的失调误差测量装置及测量方法.pdf

本发明涉及腔衰荡光谱技术领域，尤其涉及一种环形腔衰荡光谱装置的失调误差测量装置，包括激光光源、准直匹配对准光路、无源三角谐振腔、聚焦镜、探测器和数据采集记录分析机构，无源三角谐振腔上还连接有谐振建立机构和腔长伺服控制机构。本发明还提供了一种环形腔衰荡光谱装置的失调误差测量方法，包括S1：使环形腔光路满足闭合光轴特性；S2：使激光光源与无源三角谐振腔满足初步对准条件；S3：使无源三角谐振腔满足谐振条件并建立阈值光强；S4：谐振建立后实现波长扫描；S5：获取失调信息。本发明可解决现有腔衰荡光谱装置在

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116539281 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310539358.0 (22)申请日 2023.05.12 (71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物

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