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一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备.pdf

    本申请公开了一种用液态或气态前驱体生产纳米材料的设备，依次包括同轴密封连接的等离子发生器、反应腔、冷却腔，所述等离子发生器包括射频电源、中频电源、等离子体管、螺旋感应圈、气体分布头。本实用新型的优点在于结构简单，操作方便，成本低廉，且制备的纳米材料纯度较高、稳定性好、形貌粒径均匀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209997611 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20182

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