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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。该阴极狭缝遮挡装置包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置，所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接，每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。本实用新型提供的阴极狭缝遮挡装置，能够对两个挡板之间阴极狭缝的宽度进行调节，从而有效控制膜层厚度及均匀性，提高产品的转化率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210001928 U
(45)授权公告日
2020.01.31
(21)申请号 20192
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