一种硅片生产用的篮筐装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型提供一种硅片生产用的篮筐装置,包括托篮架、压篮装置和挡条,所述托篮架为顶端开口的镂空架体,用于放置片篮;所述压篮装置与所述托篮架可拆卸连接,用以对片篮进行高度方向的限位;所述挡条设置在所述托篮架底与所述压篮装置之间,用以对片篮进行长度或宽度方向的限位。本实用新型中的所述托篮架可以盛装多种尺寸的片篮,一筐多用,企业不必生产并仓储不同尺寸的篮筐,节省生产成本;通过不同安装位点及尺寸的所述挡条和所述压篮装置对不同尺寸的片篮进行限位,防止在硅片抛光、清洗和甩干等过程中,片篮产生晃动或者掉落,稳

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219476639 U (45)授权公告日 2023.08.04 (21)申请号 202320788437.0 (22)申请日 2023.04.11 (73)专利权人 天津中环领先材料技术有限公司 地

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