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一种掩膜板清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种掩膜板清洗装置.pdf

    本实用新型提供了一种掩膜板清洗装置，包括输送轨道及夹持臂，沿输送轨道延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽、冲刷槽、置换液浸泡槽及干燥槽，还包括一清洗液蒸馏装置和一置换液蒸馏装置；冲刷槽内设置一上下移动机构，且底部连接有一第一存储槽，上下移动机构包括一L型夹持支架及一驱动机构；清洗液蒸馏装置与清洗液浸泡槽通过循环管路连接，置换液蒸馏装置与置换液浸泡槽通过循环管路连接，置换液蒸馏装置的进液端还通过管路连接第一存储槽，出液端连接清洗液蒸馏装置和一第四存储槽，第四存储槽的出液端通过管路连接于冲刷槽的进液端。本

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219470210 U (45)授权公告日 2023.08.04 (21)申请号 202320285073.4 C23C 14/04 (2006.01)

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