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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型涉及激光打标领域,尤其涉及一种激光打标装置,包括激光器、分束器、第一扫描振镜系统、第二扫描振镜系统及样品台,所述激光器发射的激光经过分束器后产生第一激光和第二激光,所述第一激光经过所述第一扫描振镜系统后照射到所述样品台,所述第二激光经过所述第二扫描振镜系统后照射到所述样品台。本实用新型通过分束器将激光分成两束激光,同时两束激光分别通过不同的扫描振镜系统后照射到样品台上对样品进行打标,一方面可以提高打标范围,另一方面也可以显著提高打标速率,同时通过对第一扫描振镜系统和第二扫描振镜系统的控
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209998557 U
(45)授权公告日
2020.01.31
(21)申请号 20182
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