1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种可持续抽真空的低温泵装置.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约5.48千字
  • 约 7页
  • 2023-08-06 发布于四川
  • 举报

一种可持续抽真空的低温泵装置.pdf

    本实用新型公开了一种可持续抽真空的低温泵装置，用于将真空腔室内的真空度提升至所希望的级别，其特征在于，包括三通装置、两套低温泵，两套低温泵由第一低温泵和第二低温泵组成，三通装置中的两通道分别与一套低温泵的吸气口联通，且这两通道上均设有开关阀门，三通装置中的剩余一通道联通真空腔室。该低温泵装置可持续抽真空工作、无需停机再生，应用前景广泛。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210013796 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >