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一种平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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一种平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置.pdf

    本实用新型公开了一种平板式PECVD设备微波离子源工艺气体喷气装置，包括多个沿Y轴方向布置的离子源，离子源中包含多根送气管，送气管上沿X轴方向设有多个喷气孔，所有输送相同工艺气体的喷气孔的X轴坐标各不相同且叠加后成等间距布置。本实用新型的喷气装置由于同样长度上喷气孔的数量增加很多，也就使两个喷气点之间的间距很小，相当于在同样长度的喷气管上成倍的增加了喷气孔的数量，而且是等距分布，类似于整根送气管的喷气是一条线性状态，所以气体是非常均匀的。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210012901 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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