一种多晶硅生产中回收冷凝的装置.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型属于多晶硅生产领域,尤其是一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,针对现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题,现提出如下方案,其包括尾气出口和冷凝装置,所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器,尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口,第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐,第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐,第一储罐的出口连接有第一回收塔,第二储罐的出口连接有第二回收塔。本实用新型结构简单,设计新颖,有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210009652 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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