一种装载光学镀膜夹具的器具.pdfVIP

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2023-08-06 发布于四川
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一种装载光学镀膜夹具的器具.pdf

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本实用新型提供一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具，本方案通过采用三段式的圆环结构，能够方便对夹具的支撑与固定，另外第一圆环及第二圆环作为抓取的承受壁，便于将夹具取出进

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001925 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192